水環(huán)式真空泵需要用液體作為作業(yè)的介質(zhì)。工作液體在某一溫度下有對應(yīng)的飽和蒸汽壓。當(dāng)吸氣區(qū)域的真空壓力越接近工作液體的飽和蒸汽壓時(shí)，該區(qū)域的液環(huán)內(nèi)表面會氣化產(chǎn)生大批的氣泡。當(dāng)吸入?yún)^(qū)域的壓力達(dá)成工作液的飽和蒸汽壓時(shí)就會達(dá)到沸騰狀，吸氣腔內(nèi)則全部充滿了工作液的蒸汽，此時(shí)泵對外的吸氣能力接近于零，而此時(shí)泵的汽蝕現(xiàn)象也是很嚴(yán)重的。

　　在泵發(fā)生氣蝕時(shí)，氣泡在低壓區(qū)陸續(xù)產(chǎn)生。隨著水環(huán)式真空泵葉輪的轉(zhuǎn)動，夾在相鄰兩個葉片之間的氣泡進(jìn)入到壓縮與排出區(qū)域時(shí)，又會驟然破裂。氣泡破裂形成的空穴使得周圍的液體高速流向空穴內(nèi)而形成局部高頻的水錘。伴隨劇烈的水擊就會產(chǎn)生噪聲和振動。以至于可以聽到像爆豆似的劈劈啪啪的動靜。

　　假設(shè)上述氣泡在金屬表面上破裂，金屬表面將遭到連續(xù)劇烈的水擊后出現(xiàn)麻點(diǎn)，金屬晶粒松動并掉落而成蜂窩狀，甚至穿孔。

　　水環(huán)式真空泵的氣蝕損壞和離心式水泵的氣蝕損壞原理是一樣的，都是在氣泡發(fā)生和破裂的部位，金屬表面出現(xiàn)點(diǎn)蝕現(xiàn)象，嚴(yán)重的會出現(xiàn)蜂窩狀損壞。如果真空泵葉輪在氣蝕部位有較大的殘余壓力，還會致使葉輪發(fā)生裂紋。氣蝕損壞除機(jī)械效果外，還伴隨有電解、化學(xué)腐蝕等多種效果。實(shí)際損壞情況表明，泵過流部件氣蝕損壞的部位恰是氣泡破裂的部位。
　　液環(huán)真空泵在氣蝕狀態(tài)下長時(shí)間工作，會造成泵的噪聲、振動變大，乃至對泵造成損壞，因而應(yīng)盡量防止水環(huán)式真空泵在氣蝕狀態(tài)下工作，可經(jīng)過以下措施來防止氣蝕的發(fā)生。
　　在液環(huán)真空泵工作壓力點(diǎn)為固定值的前提下，降低工作液的溫度后作業(yè)液的飽和蒸氣壓會隨著溫度的降低而降低，當(dāng)工作液的飽和蒸氣壓低于泵的工作壓力一定程度時(shí)就可以達(dá)到避免氣蝕的效果。如果吸入氣體溫度過高，氣體在與泵內(nèi)液體接觸時(shí)，壓縮熱以及氣體本身的熱量都會傳遞到液體中，從而使液環(huán)溫度升高，也就是使泵腔內(nèi)液體的飽和蒸汽壓升高。相反，降低吸入氣體溫度可以降低液環(huán)溫度，從而降低泵腔內(nèi)液體的飽和蒸汽壓。同理，當(dāng)吸入的氣體是飽和蒸汽時(shí)要比是吸入干空氣時(shí)要更容易產(chǎn)生氣蝕。
　　工作液作為水環(huán)式真空泵的工作介質(zhì)，同時(shí)也能帶走泵內(nèi)氣體壓縮產(chǎn)生的熱量起到冷卻作用。充足的工作液供液量可以降低工作液的溫升，較低的液環(huán)溫度就有較低的飽和蒸氣壓，就能避開氣蝕產(chǎn)生的條件。所以當(dāng)設(shè)計(jì)工作液為閉環(huán)的機(jī)組時(shí)為保障充足的供液量，工作液管道的長度不能太長、尺寸不能太小，選擇冷卻器的管阻也不能太大。工作液管道堵塞時(shí)也要及時(shí)疏通清洗。